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Proyectos

Proyecto de investigación sobre validación de los procesos de sputtering reactivo con blancos sólidos de 2 y 4 pulgadas un sistema de deposición iónica en una cámara de vacío con carrusel rotatorio

Abbreviation

Validación de los procesos de sputtering reactivo

Management area

Consultancy

Funding body

Amount

18150 €

Unit

Departamento de Ingeniería
Instituto de Investigación Loyola Energía, Tecnología y Sostenibilidad
Materiales y Sostenibilidad
Programa de Doctorado en Ingeniería

IP/CO IP